抵抗加熱タイプ コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった真空蒸着装置です。 SVC-700TMSG/7PS80(TMPタイプ) TMP搭載のコンパクトモデル 電子ビームタイプ 高融点金属や化合物の蒸着に適した装置です。 SVC-700TMSG/EB コンパクトな真空排気装置:SVC-700TMSGを利用した電子ビーム蒸着装置 SVC-700LEB 4連式電子銃により多層成膜に対応