コンパクトな真空排気装置：SVC-700TMSGを利用した電子ビーム蒸着装置
特長
- 単層膜作製に最適な小型チャンバータイプ
- 抵抗加熱用蒸着電源の追加により、多層成膜や厚膜蒸着に対応可能
基本仕様
| 蒸着方式 | 電子ビーム方式 |
| E-GUN | 2kW 単GUN |
| EB電源 | -4kV×500mA (Max) |
| 抵抗加熱用蒸着電源 | 12V45A/7V80A (オプション) |
| 抵抗加熱用電極 | 2組 (オプション) |
| ベルジャー | φ160mm×H225mm (ガラス製・保護カバー付) |
| 到達圧力 | 10-4 Pa台 |
| 真空ポンプ | TMP：67l/sec(@N2) RP：20l/min |
| 圧力測定 | ピラニー真空計/電離真空計(オプション) |
| 寸法・重量 |
本体： W340/D460/H577mm 約75kg(RP別置) 制御盤：W570/D800/H1428mm 約115㎏ ※本体/制御盤の高さ及び重量は、構成により変動します。 |
| 所要電源 | 単相100V 50/60Hz 5kVA |
オプション
- ビームスイープ
- 抵抗加熱源ユニット(蒸着電源：SVC-7PS80必要)
- 基板加熱ユニット(300℃/600℃タイプ)
- 基板冷却ユニット
- 基板回転傾斜ユニット
- SUSベルジャー
- 電離真空計
- ピラニー真空計
- 水晶振動子式膜厚モニター
- ガス導入
- 外部導入端子
※上記以外にも、ご要望に応じてオプション追加を行なっております。