真空応用機器 スパッタ装置 絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応するRF／DCスパッタ装置。 真空蒸着装置 コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった真空蒸着装置。高融点金属や化合物の蒸着に適した電子ビームタイプの装置。 電子顕微鏡試料作製用装置 試料作製のためのイオンミリング装置、前処理用コーター。 その他真空応用機器 移動簡単な小型真空排気装置。蒸着装置への機能拡張が可能な真空排気装置。 電子顕微鏡関連機器 EB(電子ビーム)描画機器 SEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能な電子線描画用パターン発生装置。 試験計測機器 微小領域の疲労状態を観察できるSEM用疲労試験装置。 画像取込装置・観察装置 走査型電子顕微鏡のPC化を実現するDIGI CAPTURE。CLを検出してモニター上で観察できるCL検出器システム。 マニピュレータ/特殊ステージ ピエゾアクチュエータなどを用いたナノレベルの各種マニピュレータや、EBリソグラフィに用いられる高精度ステージなどを製作。
