原理と仕組み

真空、電子顕微鏡機器の原理と仕組み

サンユー電子で開発製造している装置の原理や仕組みを解説します。

スパッタとは

クイックコーターSCシリーズでも使用されている成膜技術、スパッタ法の原理を解説します。

真空蒸着とは

成膜技術の1手法である真空蒸着法。

真空ポンプとは

電子顕微鏡やスパッタ装置・真空蒸着装置などの真空応用機器には必ず必要な真空ポンプについて解説します。

反射電子による3次元表面計測の原理

走査型電子顕微鏡による反射電子解析で、試料表面の微少な凹凸を計測する手法を解説します。

電子線描画システムとは

電子ビームを使い試料表面に微細な絵を描く手法を解説します。半導体やナノマシン開発に使用されています。