TMP搭載のコンパクトモデル
特長
- シンプルかつイージーオペレーション
- ｢必要なものだけを必要なときに｣ ＝ 将来の機能拡張までをも考慮された真空蒸着装置
- 豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります
- 専用オプションにより、有機物の薄膜作製実験にも対応
- グローブボックス内設置に関するご相談も承ります
- コンパクトボディが“マイラボ”構想をサポート！！
用途・実績例
- 電極用途等の各種金属材料の蒸着
- 有機物蒸着実験(専用オプションが必要です)
- グローブボックス内におけるLi等の蒸着
- 真空実験
基本仕様
| 蒸着方式 | 抵抗加熱方式 |
| 蒸着電源 | 12V45A / 7V80A (切換式) |
| 蒸着用電極 | 2組 |
| 排気系 | TMP: 67l/sec (@N2) RP: 20l/min 真空保持ユニット付 |
| 到達圧力 | 2×10‐4Pa |
| ベルジャー | 内径φ160mm×H215mm (ガラス製・保護カバー付属) |
| 寸法 (W/D/H) | SVC-700TMSG (真空排気装置): 340/460/577mm SVC-7PS80 (蒸着用電源): 340/410/206mm |
| 重量 | SVC-700TMSG (真空排気装置): 約26kg SVC-7PS80 (蒸着用電源): 約25kg |
| 所要電源 | 単相100V 50/60Hz 15A 3Pコンセント |
オプション
- 有機物用蒸着電源
- ピラニー真空計
- EB蒸着ユニット (単-Gun)
- 水晶振動子式膜厚モニター
- カーボン蒸着用フラッシュ電源
- 大型ガラスベルジャー (φ230mm)
- 基板加熱ユニット (300 ℃ / 600 ℃)
- SUSベルジャー (φ160mm / φ230mm)
- 基板回転傾斜ユニット
- ガス導入
- 電離真空計
- 外部導入端子