電極薄膜作製が手軽にできるシリーズ最小の貴金属専用のスパッタコーター
特長
- DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデル
- 簡単・手軽に電極薄膜の作製ができる小型スパッタ装置
- 間欠スパッタ機能を標準搭載
- 専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます
用途・実績例
- 各種デバイスの電極膜付け
- 反射薄膜作製用途 等
基本仕様
| カソード | φ2 インチ/平板型電極 |
| スパッタターゲット | 別売 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ |
| 間欠機能 | 標準搭載 |
| 真空ポンプ | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
| チャンバーサイズ | 内径φ90mm×D90mm(SUS 製) |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 寸法 (W/D/H) | 本体:160/326/286mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本体:10kg RP:9kg |