Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター
特長
- DCスパッタのカテゴリー内でシリーズ最小の超コンパクトモデル
- ピラニー真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保
- 手動式シャッターを標準装備
- 専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます
- タングステンコートが可能なため、高分解能SEM用試料作製にも利用可
用途・実績例
- 各種デバイスの電極膜付け
- 反射薄膜作製用途 等
基本仕様
| カソード | φ2インチDCマグネトロン/平板型電極 |
| 適用可能ターゲット | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
| 圧力測定 | ピラニー真空計 |
| 圧力制御 | ニードルバルブによる手動制御 導入口径外径φ6mm ワンタッチ継手 |
| プロセスガス | Arガス |
| 真空ポンプ | 直結型ロータリーポンプ： 20L/min(自動リーク付) |
| チャンバーサイズ | 内径φ90×D90mm (SUS製) |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本体：160/450/290mm RP： 295.5/156/199.5mm |
| 重量 | 本体：9㎏ RP：9㎏ |