試料に優しいマグネトロンカソード採用。膜厚コントロール可能な全自動モデル。
特長
- DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデル
- 簡単・手軽に電極薄膜の作製ができる小型スパッタ装置
- 間欠スパッタ機能を標準搭載
- 専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます
用途・実績例
- 各種デバイスの電極膜付け
- 反射薄膜作製用途 等
基本仕様
| カソード | φ2 インチDCマグネトロン/2 極対向電極 |
| ターゲット | 別売 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
| 膜厚設定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ |
| 真空ポンプ | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
| 排気操作 | 自動 |
| チャンバーサイズ | 内径φ120mm×D120mm(SUS 製) |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本体:15kg RP:9kg |