試料をセットして待つだけ。膜厚設定可能な全自動スパッタ。
特長
- 排気 → コーティング(エッチング) → 大気開放まで全自動
- コンパクトモデルながら膜厚コントロール（簡易型）が可能
- 簡単操作、高い再現性の全自動スパッタ装置
- コーティング/エッチングモード搭載
用途・実績例
- 各種デバイスの電極膜付け
- 反射薄膜作製用途 等
基本仕様
| カソード | φ2 インチ/2 極対向電極 |
| スパッタターゲット | 別売 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
| エッチングターゲット | Al ターゲット付属 |
| 膜厚設定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ |
| 真空ポンプ | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
| 排気操作 | 自動 |
| チャンバーサイズ | 内径φ120mm×D120mm(SUS 製) |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本体:15kg RP:9kg |