大型の試料作製に対応する大径カソード採用
特長
- SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として最適なイオンコーター
- 観察/分析用試料に合わせて、4’～8’のカソードを選択可能
- SEM用大型試料の前処理を、簡単かつスピーディーに行なえます。
基本仕様
| カソード | φ4～8インチ / 2 極対向電極 |
| スパッタリング電流 エッチング電流 |
0～50mA (電流計付属) |
| スパッタリング電圧 エッチング電圧 |
0.8 / 1.4kV |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ |
| 真空ポンプ | 直結型ロータリーポンプ:100l/min(自動リーク付) |
| チャンバーサイズ | 内径φ240mm×D240mm(SUS 製) |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 試料サイズ | Max.φ4 ～8インチ |
| 寸法 (W/D/H) | 本体:282/450/440mm RP:460/175/265mm |
| 重量 | 本体:約20kg RP:23kg |
特別仕様例
SC-704AT
膜厚制御可能全自動モデル
SC-704MC
マグネトロンカソード採用モデル
(エッチング/AC スパッタリング機能なし)