カーボン蒸着による試料作製は面倒ではありません
特長
- 分析SEMやEPMAの試料作製の手間を省いた、カーボン蒸着専用コーター。
- フラッシュ式蒸着法を採用。個人差のないカーボン蒸着を実現しました。
- 蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省きました。
- ロータリーポンプのみによる排気のため、試料表面へのカーボン粒子の回り込みに優れます。
用途・実績例
- 分析SEM/EPMA用試料作製時のカーボン膜形成
基本仕様
| カーボンホルダー | カートリッジ型 |
| 電極 | 1組 |
| コーティング回数 | 1回 ～ 19 回 (任意設定) |
| コーティング時間 | 0.3sec/1回 |
| カーボン棒 | φ5mm SC-701CT専用 |
| チャンバーサイズ | 内径φ160mm × D160mm |
| 蒸着電源 | 12V / Max. 70A |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 排気装置 | 直結型ロータリーポンプ: 100l/min (自動リーク付) |
| 設置電源 | AC100V 50/60Hz 15A |
| 本体寸法 (W/D/H) | 360/400/265mm |
| 本体重量 | 26kg |
SC-MC QUICK COOL COATER
特長
- 1台2役：カーボン蒸着＋イオンコーターを低コストで実現。簡単なカートリッジ交換だけで、イオンコーターへ早変わり。
- イオンダメージを低減するマグネトロンカソード採用
- 完全自動システムによる簡単操作
基本仕様
| カーボンホルダー | カートリッジ型 |
| 電極 | 1組 |
| コーティング回数 | 1回 ～ 19 回 (任意設定) |
| コーティング時間 | 0.3sec/1回 |
| カーボン棒 | φ5mm SC-701CT専用 |
| チャンバーサイズ | 内径φ160mm × D160mm |
| 蒸着電源 | 12V / Max. 70A |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 排気装置 | 直結型ロータリーポンプ: 100l/min (自動リーク付) |
| 設置電源 | AC100V 50/60Hz 15A |
| 本体寸法 (W/D/H) | 360/400/265mm |
| 本体重量 | 26kg |