もっともシンプルな前処理専用簡易コーター
特長
- ボタン1つのスーパーイージーオぺレーション
- スモール、コンパクト&ライトウェイト
- SEM用試料のチャージアップ防止コーティングに最適
基本仕様
| カソード | φ2 インチDCマグネトロン/平板型電極 |
| スパッタターゲット | 別売 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
| ガス導入機構 | なし |
| 真空ポンプ | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
| チャンバーサイズ | 内径φ90mm×D90mm(SUS 製) |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 寸法 (W/D/H) | 本体:160/255/286mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本体:10kg RP:9kg |