φ2インチ×3源のデスクトップDCスパッタ
特長
- コンパクトながらφ2インチ×3源のマグネトロンDCスパッタ
- 真空排気におけるバルブ操作一切なし
- 多層膜の作製に対応
基本仕様
| SVC-700TMSG/Adexcel | |
| スパッタ方式 | DCマグネトロンスパッタ方式 |
| 放電制御 | 定電流 30mA可変式 |
| ターゲットサイズ | φ49mm(Max)・t0.5mm(Max) |
| カソード数 |
φ2インチ×3源 選択方式:回転式 |
| 試料(基板)サイズ | Maxφ50mm |
| T/S間調節 | 20mm/30mm/40mm |
| 操作方式 | マニュアル |
| プロセス時間 | Max15min |
| プロセスガス | Arガス(導入圧力:0.1MPa以下) |
| プロセスガス導入口 | φ6mmワンタッチ継手 |
| 圧力制御 | ニードルバルブ |
| チャンバーサイズ | 約φ160mm×200mmH(SUS製) |
| 到達真空度 | 1×10-3Pa以下 |
| 排気系 |
・ ターボ分子ポンプ 67L/s(@N2) ・ 直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) |
| 真空測定 | コンビネーション真空計 |
| 所要電源 | 単相100V 50/60Hz 15A |
| 寸法/重量 |
約340W×460D×575Hmm 約30kg 約340W×410D×166Hmm 約15kg (RP別置き) |
オプション
- 水晶振動子式膜厚モニター
- MFC取付
- 抵抗加熱式真空蒸着装置への換装