Desk Top Quick Coater SC Series

SC-701MkⅡ ADVANCE

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(シャッター付)

 

特長

  • DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデル
  • 真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保
  • 手動式シャッターの装着が可能(オプション)
  • 専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます
  • タングステンコートが可能なため、高分解能SEM用試料作製にも利用可


用途・実績例

  • 各種デバイスの電極膜付け
  • 反射薄膜作製用途 等


基本仕様

カソード φ2インチDCマグネトロン/平板型電極
適用可能ターゲット Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
圧力測定 ピラニー真空計
圧力制御 ニードルバルブによる手動制御
導入口径外径φ6mm ワンタッチ継手
プロセスガス Arガス
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ: 20L/min(自動リーク付)
チャンバーサイズ 内径φ90×D90mm (SUS製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法(W/D/H) 本体:160/450/290mm RP: 295.5/156/199.5mm
重量 本体:9㎏ RP:9㎏