コア技術で研究開発の未来を切り拓く

スパッタ装置・真空蒸着装置などの薄膜作製用装置、電子顕微鏡試料作製用装置などの真空応用機器、電子線描画装置、SEM用疲労試験装置、マニピュレーターなどの電子顕微鏡関連機器の開発・設計・製造・販売のサンユー電子。カタログモデルのカスタマイズから、完全オーダーメイドによる機器・装置の設計・製造など、幅広いニーズに対応できる理科学機器メーカーです。

スパッタ装置

貴金属や各種金属薄膜の生成、絶縁物や酸化物などの薄膜生成に適したコンパクトなDC/RFスパッタ装置。

真空蒸着装置

コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった抵抗加熱式真空蒸着装置、高融点金属や化合物の蒸着に適した電子ビームタイプ真空蒸着装置。

電子顕微鏡試料作製用装置

「簡単」がコンセプトの各種前処理装置。

その他真空応用機器

用途に合わせて各種機器・装置を製作致します。

EB(電子ビーム)描画機器

SEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能な電子線描画用パターン発生装置。

試験計測機器

SEMを試験計測機器にスペックアップ。

画像取込装置・観察装置

お手持ちのSEMを手軽にグレードアップ。

マニピュレータ

ピエゾアクチュエータなどを用いたナノレベルの各種マニピュレータや、EBリソグラフィに用いられる高精度ステージなどを製作、販売。