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大気圧マイクロ波プラズマ源 低真空から大気圧まで安定的に低温プラズマを発生させることができます。
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真空排気装置 SVC-700TMSG

真空排気装置 SVC-700TMSG 蒸着装置への機能拡張が可能な真空排気装置
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