電子顕微鏡試料作製用装置

SC-701CT QUICK CARBON COATER

  お電話でお問合せ メールでお問合せ
SC-701CT QUICK CARBON COATER  

特長

  • 分析SEMやEPMAの試料作製の手間を省いた、カーボン蒸着専用コーター。
  • フラッシュ式蒸着法を採用。個人差のないカーボン蒸着を実現しました。
  • 蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省きました。
  • ロータリーポンプのみによる排気のため、試料表面へのカーボン粒子の回り込みに優れます。


用途・実績例

  • 分析SEM/EPMA用試料作製時のカーボン膜形成


基本仕様

カーボンホルダー カートリッジ型
電極 1組
コーティング回数 1回 ~ 19 回 (任意設定)
コーティング時間 0.3sec/1回
カーボン棒 φ5mm SC-701CT専用
チャンバーサイズ 内径φ160mm × D160mm
蒸着電源 12V / Max. 70A
試料交換方法 前面ドア開閉式
排気装置 直結型ロータリーポンプ: 100l/min (自動リーク付)
設置電源 AC100V 50/60Hz 15A
本体寸法 (W/D/H) 360/400/265mm
本体重量 26kg


電子顕微鏡試料作製用装置

SC-MC QUICK COOL COATER

  お電話でお問合せ メールでお問合せ
SC-MC QUICK COOL COATER  

特長

  • 1台2役:カーボン蒸着+イオンコーターを低コストで実現。簡単なカートリッジ交換だけで、イオンコーターへ早変わり。
  • イオンダメージを低減するマグネトロンカソード採用
  • 完全自動システムによる簡単操作


基本仕様

カソード φ2 インチ マグネトロンカソード
ターゲットサイズ φ49mm
熱ダメージ防止 間欠コート機能
標準ターゲット Au
寸法 (W/D/H) 360/350/120mm
重量 7.6kg