電子顕微鏡試料作製用装置

QUICK COATER SC-708 Series

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QUICK COATER SC-708 Series  

特長

  • SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として最適なイオンコーター
  • 観察/分析用試料に合わせて、4'~8'のカソードを選択可能
  • SEM用大型試料の前処理を、簡単かつスピーディーに行なえます。


基本仕様

カソード φ4~8インチ / 2 極対向電極
スパッタリング電流
エッチング電流
0~50mA (電流計付属)
スパッタリング電圧
エッチング電圧
0.8 / 1.4kV
ガス導入機構 ニードルバルブ
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:100l/min(自動リーク付)
チャンバーサイズ 内径φ240mm×D240mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
試料サイズ Max.φ4 ~8インチ
寸法 (W/D/H) 本体:282/450/440mm
RP:460/175/265mm
重量 本体:約20kg
RP:23kg

   

特別仕様例置

SC-704AT
SC-704AT
膜厚制御可能全自動モデル
  SC-704MC
SC-704MC
マグネトロンカソード採用モデル
(エッチング/AC スパッタリング機能なし)