電子顕微鏡試料作製用装置

QUICK COOL COATER SC-701MC

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QUICK COOL COATER SC-701MC  

特長

  • 試料にやさしいマグネトロンカソード採用
  • 高効率なスパッタ方式により、高倍率でのSEM観察にも耐えうる試料作製が可能です。
  • 膜厚を制御しながらの試料作製を可能としたSEM用前処理装置


基本仕様

カソード φ2 インチDCマグネトロン/2 極対向電極
ターゲット Au ターゲット付属
膜厚設定方式 プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付
ガス導入機構 ニードルバルブ
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付)
排気操作 自動
チャンバーサイズ 内径φ120mm×D120mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法(W/D/H) 本体:225/420/320mm
RP:300/160/200mm
重量 本体:15kg
RP:9kg