電子顕微鏡試料作製用装置

QUICK AUTO COATER SC-701AT

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QUICK AUTO COATER SC-701AT  

特長

  • 電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製
  • プリセット方式により、膜厚のコントロール(簡易型)が可能。
  • 前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性


基本仕様

カソード φ2 インチ/2 極対向電極
スパッタターゲット Au ターゲット付属
エッチングターゲット Al ターゲット付属
膜厚設定方式 プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付
ガス導入機構 ニードルバルブ
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付)
排気操作 自動
チャンバーサイズ 内径φ120mm×D120mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法(W/D/H) 本体:225/420/320mm
RP:300/160/200mm
重量 本体:15kg
RP:9kg