電子顕微鏡試料作製用装置

MINI QUICK COATER SC-701MkⅡ ECO

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SC-701MkⅡ ECO  

特長

  • ボタン1つのスーパーイージーオぺレーション
  • スモール、コンパクト&ライトウェイト
  • SEM用試料のチャージアップ防止コーティングに最適


基本仕様

カソード φ2 インチDCマグネトロン/平板型電極
スパッタターゲット Au ターゲット付属
ガス導入機構 ニードルバルブ
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付)
チャンバーサイズ 内径φ90mm×D90mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法 (W/D/H) 本体:160/255/286mm  RP:300/160/200mm
重量 本体:10kg  RP:9kg