電子ビームタイプ

SVC-700TMSG/EB

  お電話でお問合せ メールでお問合せ
SVC-700  

特長

  • 単層膜作製に最適な小型チャンバータイプ
  • 抵抗加熱用蒸着電源の追加により、多層成膜や厚膜蒸着に対応可能


基本仕様

蒸着方式 電子ビーム方式
E-GUN 2kW 単GUN
EB電源 -4kV×500mA (Max)
抵抗加熱用蒸着電源 12V45A/7V80A (オプション)
抵抗加熱用電極 2組 (オプション)
ベルジャー φ160mm×H225mm (ガラス製・保護カバー付)
到達圧力 10-4 Pa台
真空ポンプ TMP:67l/sec(@N2) RP:20l/min
圧力測定 ピラニー真空計/電離真空計(オプション)
寸法・重量

本体: W340/D460/H577mm 約75kg(RP別置)
制御盤:W570/D800/H1428mm 約115㎏


※本体/制御盤の高さ及び重量は、構成により変動します。
所要電源 単相100V 50/60Hz 5kVA


オプション

  • ビームスイープ
  • 抵抗加熱源ユニット(蒸着電源:SVC-7PS80必要)
  • 基板加熱ユニット(300℃/600℃タイプ)
  • 基板冷却ユニット
  • 基板回転傾斜ユニット
  • SUSベルジャー
  • 電離真空計
  • ピラニー真空計
  • 水晶振動子式膜厚モニター
  • ガス導入
  • 外部導入端子

※上記以外にも、ご要望に応じてオプション追加を行なっております。