溶着装置:抵抗加熱方式

SVC-700(DPタイプ)

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SVC-700(DPタイプ)  

特長

  • 真空蒸着の基本がつまったベーシックモデル
  • 蒸着装置として必要最低限の機能をパッケージング
  • DPタイプながら、スイッチによるバルブOPEN/CLOSEで簡単操作
  • 豊富なオプションが、将来的な機能拡張に応えます


用途・実績例

  • 各種デバイスの電極膜付け
  • 反射膜作製用途(アルミ蒸着等)
  • 電子顕微鏡用試料作製用途
  • カーボン支持膜作製用途 等


基本仕様

蒸着方式 抵抗加熱方式
蒸着電源 12V50A / 7V80A (切換式)
蒸着用電極 2組
排気系 DP: 200L/sec RP: 20L/min
TMP: 67L/sec(@N2) RP: 20L/min (オプション)
到達圧力 10-4Pa 台
ベルジャー 内径φ160mm×H225mm (ガラス製・保護カバー付属)
寸法 (W/D/H) 600/400/800mm
重量 約 40kg
所要電源 単相100V 50/60Hz 10A (3Pプラグ)
冷却水 2L/min 20℃±5℃ 0.2MPa  × 1系統


オプション

  • 電離真空計
  • ピラニー真空計
  • 水晶振動子式膜厚モニター
  • 基板加熱ユニット(300℃/600℃タイプ)
  • 基板冷却ユニット
  • 基板回転傾斜ユニット
  • カーボン蒸着用フラッシュ電源
  • EB蒸着ユニット(単-Gun)
  • 有機物蒸着用電源
  • φ160mm SUS製ベルジャー
  • φ230mm SUS製ベルジャー
  • ガス導入ユニット
  • 外部導入端子
  • 液体窒素トラップ(排気用)