蒸着装置:抵抗加熱方式

SVC-700TMSG/7PS80(TMPタイプ)

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SVC-700TMSG/7PS80(TMPタイプ)  

特長

  • シンプルかつイージーオペレーション
  • 「必要なものだけを必要なときに」 = 将来の機能拡張までをも考慮された真空蒸着装置
  • 豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります
  • 専用オプションにより、有機物の薄膜作製実験にも対応
  • グローブボックス内設置に関するご相談も承ります
  • コンパクトボディが“マイラボ”構想をサポート!!


用途・実績例

  • 電極用途等の各種金属材料の蒸着
  • 有機物蒸着実験(専用オプションが必要です)
  • グローブボックス内におけるLi等の蒸着
  • 真空実験


基本仕様

蒸着方式 抵抗加熱方式
蒸着電源 12V45A / 7V80A (切換式)
蒸着用電極 2組
排気系 TMP: 67l/sec (@N2) RP: 20l/min
真空保持ユニット付
到達圧力 2×10‐4Pa
ベルジャー 内径φ160mm×H215mm (ガラス製・保護カバー付属)
寸法 (W/D/H) SVC-700TMSG (真空排気装置): 340/460/577mm
SVC-7PS80 (蒸着用電源): 340/410/206mm
重量 SVC-700TMSG (真空排気装置): 約26kg
SVC-7PS80 (蒸着用電源): 約25kg
所要電源 単相100V 50/60Hz 15A 3Pコンセント


オプション

  • 有機物用蒸着電源
  • ピラニー真空計
  • EB蒸着ユニット (単-Gun)
  • 水晶振動子式膜厚モニター
  • カーボン蒸着用フラッシュ電源
  • 大型ガラスベルジャー (φ230mm)
  • 基板加熱ユニット (300 ℃ / 600 ℃)
  • SUSベルジャー (φ160mm / φ230mm)
  • 基板回転傾斜ユニット
  • ガス導入
  • 電離真空計
  • 外部導入端子