Desk Top Quick Coater SC Series

SC-708 Series

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SC-708 Series  

特長

  • 大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置
  • スパッタターゲットは、4'/5'/6'/7'/8'と1インチ単位で区切ったサイズをご用意
  • スパッタ薄膜作製は勿論、マイクロチャネル流路形成時のPDMS表面処理にも対応
  • コーティングモード/エッチングモード搭載


用途・実績例

  • 各種デバイスの電極膜付け
  • 反射膜作製用途
  • サンプル表面親水化処理用途(エッチングモード)
  • PDMS表面処理用途(エッチングモード) 等


基本仕様

カソード φ4~8インチ / 2 極対向電極
スパッタリング電流
エッチング電流
0~50mA (電流計付属)
スパッタリング電圧
エッチング電圧
0.8 / 1.4kV
ガス導入機構 ニードルバルブ
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:100l/min(自動リーク付)
チャンバーサイズ 内径φ240mm×D240mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
試料サイズ Max.φ4 ~8インチ
寸法 (W/D/H) 本体:282/450/440mm
RP:460/175/265mm
重量 本体:約20kg
RP:23kg

   

特別仕様例

SC-704AT
SC-704AT
膜厚制御可能全自動モデル
  SC-704MC
SC-704MC
マグネトロンカソード採用モデル
(エッチング/AC スパッタリング機能なし)