Desk Top Quick Coater SC Series

SC-701HMCⅡ

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SC-701HMCⅡ  

特長

  • W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等の成膜に対応したDCスパッタ装置
  • マグネトロンカソード採用
  • マイコン搭載で成膜プロセスを高精度にコントロール
  • 操作方法はフルオート/マニュアルの2モード
  • 自動シャッター機構を標準装備


用途・実績例

  • W/Ni/Cr/Ti 等の成膜
  • 燃料電池用基礎実験


基本仕様

カソード φ2インチ マグネトロンカソード
シャッター機構 オート / マニュアル操作
ガス導入機構 ニードルバルブ (オート / マニュアル制御)
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:100l/min(自動リーク付)
チャンバーサイズ 内径φ160mm×D160mm (SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法 (W/D/H) 本体:360/360/260mm
RP:174/460/264mm
重量 本体:20kg
RP:23kg