Desk Top Quick Coater SC Series

SC-701MC

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SC-701MC  

特長

  • イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用
  • 排気 → コーティング → 大気開放までフルオート
  • マグネトロンカソードが、質の高いスパッタ薄膜作成に貢献
  • 電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます


用途・実績例

  • 各種デバイスの電極膜付け
  • 反射薄膜作製用途 等


基本仕様

カソード φ2 インチDCマグネトロン/2 極対向電極
ターゲット Au ターゲット付属
膜厚設定方式 プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付
ガス導入機構 ニードルバルブ
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付)
排気操作 自動
チャンバーサイズ 内径φ120mm×D120mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法(W/D/H) 本体:225/420/320mm
RP:300/160/200mm
重量 本体:15kg
RP:9kg