Desk Top Quick Coater SC Series

SC-701AT

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SC-701AT  

特長

  • 排気 → コーティング(エッチング) → 大気開放まで全自動
  • コンパクトモデルながら膜厚コントロール(簡易型)が可能
  • 簡単操作、高い再現性の全自動スパッタ装置
  • コーティング/エッチングモード搭載


用途・実績例

  • 各種デバイスの電極膜付け
  • 反射薄膜作製用途 等


基本仕様

カソード φ2 インチ/2 極対向電極
スパッタターゲット Au ターゲット付属
エッチングターゲット Al ターゲット付属
膜厚設定方式 プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付
ガス導入機構 ニードルバルブ
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付)
排気操作 自動
チャンバーサイズ 内径φ120mm×D120mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法(W/D/H) 本体:225/420/320mm
RP:300/160/200mm
重量 本体:15kg
RP:9kg