Desk Top Quick Coater SC Series

SC-701MkⅡ

  お電話でお問合せ メールでお問合せ
SC-701MkⅡ  

特長

  • DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデル
  • 簡単・手軽に電極薄膜の作製ができる小型スパッタ装置
  • 間欠スパッタ機能を標準搭載
  • 専用試料台とステージで、簡単にT-S間距離をかえられます


用途・実績例

  • 各種デバイスの電極膜付け
  • 反射薄膜作製用途 等


基本仕様

カソード φ2 インチ/平板型電極
スパッタターゲット Au ターゲット付属
ガス導入機構 ニードルバルブ
間欠機能 標準搭載
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付)
チャンバーサイズ 内径φ90mm×D90mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法 (W/D/H) 本体:160/326/286mm  RP:300/160/200mm
重量 本体:10kg  RP:9kg