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真空応用機器
スパッタ装置
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RF/DCスパッタ装置
絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応する、機能拡張性に優れた実験研究用RF/DCスパッタ装置です。
SVC-700RFⅠ
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小型、簡単、低価格なRFスパッタ装置 |
SVC-700DCⅠ
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実験用として最適な小型DCスパッタ装置 |
SVC-700RFⅡ
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拡張性に優れたRFスパッタ装置 |
SVC-700DCⅡ
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各種金属薄膜の積層に対応するDCスパッタ装置 |
導電薄膜作製用コンパクトスパッタ装置 Desk Top Quick Coater SC Series
各種金属の薄膜作製がコンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。
SEM/TEM用などの前処理にはこちらをご覧ください。
SC-701MkⅡ
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電極薄膜作製が手軽にできるシリーズ最小のスパッタ |
SC-701MC
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試料に優しいマグネトロンカソード採用。膜厚コントロール可能な全自動モデル。 |
SC-708 Series
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大型基板への薄膜作製やPDMSの表面処理に最適 |
SC-701AT
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試料をセットして待つだけ。膜厚設定可能な全自動スパッタ。 |
SC-701HMCⅡ
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W/Ti/Cr等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプ。マイコン制御/自動シャッター標準装備。 |
