真空応用機器

スパッタ装置

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RF/DCスパッタ装置

絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応する、機能拡張性に優れた実験研究用RF/DCスパッタ装置です。

SVC-700RFⅠ

SVC-700RFⅠ 小型、簡単、低価格なRFスパッタ装置
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SVC-700DCⅠ

SVC-700DCⅠ 実験用として最適な小型DCスパッタ装置
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SVC-700RFⅡ

SVC-700RFⅡ 拡張性に優れたRFスパッタ装置
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SVC-700DCⅡ

SVC-700DCⅡ 各種金属薄膜の積層に対応するDCスパッタ装置
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導電薄膜作製用コンパクトスパッタ装置 Desk Top Quick Coater SC Series

各種金属の薄膜作製がコンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。
SEM/TEM用などの前処理にはこちらをご覧ください。

SC-701MkⅡ ADVANCE

products_a10s.jpg Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコーター
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SC-701AT

SC-701AT 試料をセットして待つだけ。膜厚設定可能な全自動スパッタ。
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SC-701HMCⅡ

SC-701HMCⅡ W/Ti/Cr等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプ。マイコン制御/自動シャッター標準装備。
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SC-701MkⅡ

SC-701MkⅡ 電極薄膜作製が手軽にできるシリーズ最小のスパッタ
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SC-701MC

SC-701MC 試料に優しいマグネトロンカソード採用。膜厚コントロール可能な全自動モデル。
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SC-708 Series

SC-708シリーズ 大型基板への薄膜作製やPDMSの表面処理に最適
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