■　真空蒸着装置

真空蒸着装置は、容器内を真空状態にして金属などの物質に熱を加えて蒸発させ、気体にします。真空中で気体になった金属などの物質の分子が基板にぶつかり、張り付くことで、コーティングをおこないます。

• 抵抗加熱タイプ真空蒸着装置　

  標準的な抵抗加熱方式により蒸着を行なうタイプ。高真空領域で手軽にカーボン蒸着が行なえる、カーボン用フラッシュ電源のオプションもご用意しております。

  

• 電子ビームタイプ真空蒸着装置　

  電子ビームを用いて蒸着を行なうタイプ。高融点金属や化合物の薄膜作製に適しています。