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●スパッタ・真空蒸着・試料作成
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| 蒸着装置： 抵抗加熱方式 |
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■ SVC-700 (DPタイプ)
【 特 徴 】− 真空蒸着の基本がつまったベーシックモデル − アルミ等の蒸着膜作製に最適 − 蒸着装置として必要最低限の機能をパッケージング − DPタイプながら、スイッチによるバルブOPEN/CLOSEで 簡単操作。 − 豊富なオプションが、将来的な機能拡張に応えます。 |
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【 用途・実績例 】 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ・ 各種デバイスの電極膜付け ・ 反射膜作製用途(アルミ蒸着等) ・ 電子顕微鏡用試料作成用途 ・ カーボン支持膜作製用途 等 |
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【 基本仕様 】
【オプション】
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【オプション装着例】 |
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 ロードロック式カーボン蒸着装置/LN2 冷却仕様 |
 SUS 製チャンバー/ガス導入機構装着仕様 |
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