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●スパッタ・真空蒸着・試料作成
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| その他真空応用機器 |
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| ■ マルチパーパス大口径真空チャンバーシステム |
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チャンバーサイズφ600×D500mm の大容量＋前面ドア開放タイプのチャンバーの採用により、ゆとりのある作業スペースの確保、及び目的に応じた各種内部治具の装着を実現。基礎材料やデバイスの研究・開発などにおける薄膜作成実験、あるいは真空を利用した各種実験に最適な、コストパフォーマンスに優れたオリジナリティ溢れる1台を手にすることができます。 |
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