スパッタ、真空蒸着、電子ビーム、電子顕微鏡のサンユー電子
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試験計測機器
■ 電子ビーム3次元計測装置
  SDM-7501


3次元表面計測装置   【 特   徴 】

  − 「観察主体」から、「計測もできる走査型電子顕微鏡」へ
    グレードアップ。

  − お手持ちの走査型電子顕微鏡に後付できる、電子ビー
    ムを利用した表面粗さ計測装置です。

  − 非接触・非破壊・高い分解能での計測が可能

  − 高性能反射電子検出器採用

  − ノーマルタイプの反射電子検出器により、TOPO像 /
    COMPO像 / OUTLINE像に加えて、SEI像の同時取得、
    及び表示が可能です。

3次元表面計測装置
 

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