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| 試験計測機器 |
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| ■ 電子ビーム3次元計測装置 SDM-7501
【 特 徴 】− 「観察主体」から、「計測もできる走査型電子顕微鏡」へ グレードアップ。 − お手持ちの走査型電子顕微鏡に後付できる、電子ビー ムを利用した表面粗さ計測装置です。 − 非接触・非破壊・高い分解能での計測が可能 − 高性能反射電子検出器採用 − ノーマルタイプの反射電子検出器により、TOPO像 / COMPO像 / OUTLINE像に加えて、SEI像の同時取得、 及び表示が可能です。 |
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