 |
 |
●スパッタ・真空蒸着・試料作成
・その他真空・試験計測・画像取込/観察
・描画・ステージ ●会社概要 ●お問い合わせ ●求人情報 ●原理と仕組み ●研究室リンク |
|
|
|
 |
 |
| 電子顕微鏡試料作成用装置 | |||||||||||||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
■ SB-712
【 特 徴 】− 真空中でMax.150℃の試料加熱処理が可能 − 最大φ100mmサイズの試料に対応 − レジスト塗布後のSiウェハ表面処理にも最適 − イージーオペレーション |
|||||||||||||||||||||||||||||||
【 用途・実績例 】 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| ・ SEM用試料作成時のガス出し処理 ・ 加熱処理による試料表面処理 | |||||||||||||||||||||||||||||||
【 基本仕様 】
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
| |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||