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●スパッタ・真空蒸着・試料作成
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RF/DC スパッタ装置 |
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| ■ SVC-700RFI/ SVC-700RFII  絶縁膜や酸化物のスパッタ薄膜用の小型RFマグネトロンスパッタリング装置 |
■ SVC-700DCI/ SVC-700DCII 各種金属の薄膜作製実験用DCマグネトロンスパッタリング装置 |
■ SVC-700LRF/ SVC-700LDC 多層膜や大型基板に対応したRF/DCマグネトロンスパッタリングシステム |
■ SC-708DC 8インチターゲット搭載のスマートモデル |
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| サンユー電子株式会社 東京都新宿区百人町1-22-6 Tel : 03-3363-3551 Fax : 03-3364-2892 Copyright © Sanyu Electron Co.,Ltd. All rights reserved. |
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