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| 電子顕微鏡試料作成用装置 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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■ イオンミリング装置 SVM-730
【 特 徴 】 − 電解研磨や化学研磨で対処できない試料最表面の研 磨に最適な装置です。 − 電解研磨や化学研磨処理後の仕上げ用装置としても 最適なイオンミリング装置です。 − イオンミリングするための特殊な試料づくり(ウルトラミ クロトクロトーム等による切片作成)を必要としません。 − マイコン制御により、プロセスの高精度コントロールを 実現。 − FIB装置に比べて、コストパフォーマンスに優れます。 |
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【基本仕様】
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