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電子顕微鏡試料作成用装置
■ QUICK COATER SC-701 MkII
【 特 徴 】
− ベストセラーモデルSC-701がフルモデルチェンジ
− SEM観察時のチャージアップ防止に最適な前処理装置
− イオン(熱)ダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載
− SEMのそばにおいても邪魔にならないコンパクトモデル
(W160×D326×H286mm)
− 試料作製作業を極限まで簡便化
− シリーズ最小最軽量
【 基本仕様 】
カソード
φ2 インチ/平板型電極
スパッタターゲット
Au ターゲット付属
ガス導入機構
ニードルバルブ
間欠機能
標準搭載
真空ポンプ
直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付)
チャンバーサイズ
内径φ90mm×D90mm(SUS 製)
試料交換方法
前面ドア開閉式
寸法 (W/D/H)
本体:160/326/286mm
RP:300/160/200mm
重量
本体:10kg
RP:9kg
サンユー電子株式会社
東京都新宿区百人町1-22-6 Tel : 03-3363-3551 Fax : 03-3364-2892
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