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電子顕微鏡試料作成用装置
■ QUICK COATER SC-701 MkII

SEM用試料作成コーター 【 特   徴 】

− ベストセラーモデルSC-701がフルモデルチェンジ

− SEM観察時のチャージアップ防止に最適な前処理装置

− イオン(熱)ダメージを軽減する間欠スパッタ機能を標準搭載

− SEMのそばにおいても邪魔にならないコンパクトモデル

  (W160×D326×H286mm)

− 試料作製作業を極限まで簡便化

− シリーズ最小最軽量


【 基本仕様 】


カソード φ2 インチ/平板型電極
スパッタターゲット Au ターゲット付属
ガス導入機構 ニードルバルブ
間欠機能 標準搭載
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付)
チャンバーサイズ 内径φ90mm×D90mm(SUS 製)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法 (W/D/H) 本体:160/326/286mm
RP:300/160/200mm
重量 本体:10kg
RP:9kg
 

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