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電子顕微鏡試料作成用装置
■ QUICK COOL COATER SC-701MC

マグネトロンカソード採用の前処理装置 【 特   徴 】

− 試料にやさしいマグネトロンカソード採用

− 高効率なスパッタ方式により、高倍率でのSEM観察にも耐
  えうる試料作製が可能です。

− 膜厚を制御しながらの試料作製を可能としたSEM用前処理
  装置


【基本仕様】


カソード φ2 インチ マグネトロンカソード
ターゲット Au ターゲット付属
膜厚設定方式 プリセット方式・デジタル表示膜厚モニター付
試料交換方法 前面ドア開閉式
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ: 20l/min (自動リーク付)
寸法 (W/D/H) 本体: 225/420/320mm  RP: 300/160/200mm
重量 本体: 15kg  RP: 9kg
 

サンユー電子株式会社
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