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電子顕微鏡試料作成用装置
■ QUICK COOL COATER SC-701MC
【 特 徴 】
− 試料にやさしいマグネトロンカソード採用
− 高効率なスパッタ方式により、高倍率でのSEM観察にも耐
えうる試料作製が可能です。
− 膜厚を制御しながらの試料作製を可能としたSEM用前処理
装置
【基本仕様】
カソード
φ2 インチ マグネトロンカソード
ターゲット
Au ターゲット付属
膜厚設定方式
プリセット方式・デジタル表示膜厚モニター付
試料交換方法
前面ドア開閉式
真空ポンプ
直結型ロータリーポンプ: 20l/min (自動リーク付)
寸法 (W/D/H)
本体: 225/420/320mm RP: 300/160/200mm
重量
本体: 15kg RP: 9kg
サンユー電子株式会社
東京都新宿区百人町1-22-6 Tel : 03-3363-3551 Fax : 03-3364-2892
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