分析SEM/EPMA用カーボンコーター

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電子顕微鏡試料作成用装置

■ SC-701C　QUICK CARBON COATER
イオンコーターにもなる分析SEM/EPMA用カーボンコーター

【特　　　徴】

－ EDX付の分析SEMやEPMAの試料作製に最適。カーボン蒸
　　着専用コーター。

－アーク放電(フラッシュタイプ)方式採用。個人差のないカー
　　ボン蒸着が可能

－蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省きました。

－低真空タイプのため、試料表面へのカーボン粒子の回り
　　込みに優れます。

－操作は至って簡単。従来方式と比べてください。

【用途・実績例】

　　・　分析SEM/EPMA用試料作製

【基本仕様： SC-701C】

蒸着方式	アーク放電 (フラッシュタイプ)
カーボンホルダー	カートリッジタイプ
カーボン棒	SC-701C専用φ5mm 仕様 (サンユー電子製)
コーティングモード	全自動 (排気系と連動) / 半自動
コーティング時間	0.3sec/1フラッシュ
コーティング可能回数	1 ～19 回 (任意設定)
蒸着電流 / 電圧	Max.70A / 12V
試料交換方法	前面ドア開閉式
真空ポンプ	直結型ロータリーポンプ: 100l/min (自動リーク付)
チャンバーサイズ	内径φ160mm×D160mm (SUS 製)

■ SC-MC　QUICK COOL COATER
SC-701C専用イオンコーターユニット

　　【特　　　徴】

　　－ SC-701C専用オプション

　　－ 1台2役：カーボン蒸着＋イオンコーターを低コストで実現。簡単な
　　　　カートリッジ交換だけで、イオンコーター早代わり。

　　－イオンダメージを低減するマグネトロンカソード採用

【基本仕様： SC-MC】

カソード	φ2 インチマグネトロンカソード
ターゲット	Au ターゲット付属
熱ダメージ防止	間欠コート機能
寸法 (W/D/H)	360/350/130mm
重量	11kg

■ 特別仕様例

　
SC-706C / SC-708C
（6/8インチ対応カーボンコーター）　　

　
＝対応オプション＝

　　　－スパッタ機能

　　　－回転式試料テーブル