スパッタ、真空蒸着、電子ビーム、電子顕微鏡のサンユー電子
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電子顕微鏡試料作成用装置
■ QUICK AUTO COATER SC-701AT
全自動前処理装置

【 特   徴 】

− 電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製

− プリセット方式により、膜厚のコントロールが可能。

− 前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性


【基本仕様】


カソード φ2 インチ / 2 極対向電極
ターゲット スパッタ用: Au ターゲット付属  エッチング用: Alターゲット付属
膜厚設定方式 プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付
真空ポンプ 直結型ロータリーポンプ: 20l/min (自動リーク付)
試料交換方法 前面ドア開閉式
寸法(W/D/H) 本体: 225/420/320mm  RP: 300/160/200mm
重量 本体: 15kg  RP: 9kg
 

サンユー電子株式会社
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