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電子顕微鏡試料作成用装置
■ QUICK AUTO COATER SC-701AT
【 特 徴 】
− 電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製
− プリセット方式により、膜厚のコントロールが可能。
− 前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性
【基本仕様】
カソード
φ2 インチ / 2 極対向電極
ターゲット
スパッタ用: Au ターゲット付属 エッチング用: Alターゲット付属
膜厚設定方式
プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付
真空ポンプ
直結型ロータリーポンプ: 20l/min (自動リーク付)
試料交換方法
前面ドア開閉式
寸法(W/D/H)
本体: 225/420/320mm RP: 300/160/200mm
重量
本体: 15kg RP: 9kg
サンユー電子株式会社
東京都新宿区百人町1-22-6 Tel : 03-3363-3551 Fax : 03-3364-2892
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