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（順不同。概要は各HPより要約させていただきました。）

研究の概要

所属／部署・研究室

機種

金属薄膜内の超高速電子ダイナミクス、原子スケールでの格子振動の実時間観察 10のマイナス15乗分の１秒という非常に短い時間レーザー光線を金属薄膜に当てると、金属原子の電子だけが先に加熱されます。この様な短い時間に起こる原子レベルの観察によって、将来、原子スケールの制御や試料の特徴づけなどが可能になる。

北海道大学 大学院工学科研究科 量子物理工学専攻 極限物理工学講座 量子機能工学分野

RFスパッタ SVC-700RFII

システムの鍵を握るマイクロマシンやナノマシンの実現 マイクロマシンは、センサ、回路、動力などが集積化された微小機械です。本研究室では、血管内で使用する能動カテーテル、情報システム用各種センサや微小部品を開発してきました。自立ロボットや携帯情報機器の小形動力源も研究しています。将来、さらに微細化することで、超高感度センシングやマルチプローブデータ記録が実現できる。

東北大学 大学院工学科研究科 ナノメカニクス専攻 江刺・小野・田中研究室

真空蒸着装置 SVC-700TM

微細製造技術、創造設計エンジン、科学用インストラメンテーション、ナノ・マニュファクチャリング・ワールド 情報機器やバイオ・医療機器を対象に、創造設計手法と微細製造技術とを用いて、新たな機械を開発。

東京大学 産業機械工学科

真空応用機器 SVC-700L特 電子線描画システム CPG-1000・SPG-7

多機能が調和した人工格子の創成 　超高感度、あるいは、人間が感知できない磁場、赤外線等をも検出可能な、“超五感センサ”。脳の持つ機能を目指した“脳型メモリ”。これらの実現に向けた人工格子の開発。 走査プローブ顕微鏡によるナノテクノロジー ＳＴＭ、ＡＦＭを用い、１分子の化学反応や核酸塩基、ＤＮＡの分子移動操作。さらには、ＤＮＡを用いた新しいデバイスの開発

大阪大学 産業科学研究所 高次制御材料科学大学部門 極微プロセス

RFスパッタ SVC-700LRF 真空蒸着装置 SVC-700TM

バイオマイクロシステム - マイクロチャネルを用いたインプレインディジタルソーティング・リアクション 高機能マイクロチャネル - 微細加工技術で製作したμm大の化学反応容器

早稲田大学 理工学部 電気・情報生命工学科 庄子研究室

EBタイプ真空蒸着装置 SVC-700LEB

酸化物半導体ZnOのヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシー 窒化物・酸化物ワイドギャップ化合物半導体のエピタキシーと量子ナノ構造の形成、ナノスケール実空間分解およびフェムト秒時間分解スペクトロスコピー、量子効果デバイスへの挑戦。機能性光・電子デバイスの形成を目的とし、その基本技術であるエピタキシャル結晶成長と半導体物性物理探求。

東北大学 多元物質科学研究所 窒化物ナノ・エレクトロニクス材料研究センター 秩父研究室

ヘリコン波スパッタ装置

固体力学研究室 材料創製と強度・成形能評価を行うための実験およびコンピュータシミュレーション手法開発を目的とした研究。研究は金属材料・機能材料・生体材料の創製と機能評価、および医療用マイクロシステム開発。とくに、生体の骨や筋肉などを模したバイオミメティクス材料の開発と、それらの生体機器への応用研究。

大阪工業大学 機械工学科 固体力学研究室

ヘリコン波スパッタ装置

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