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電子線描画の研究室リンク

（順不同。概要は各HPより要約させていただきました。）

研究の概要

所属／部署・研究室

機種

光の属性を制御し、新たな光機能発現を可能とする有機材料の研究 有機材料、高分子材料の光学機能を操作・制御し、新機能・性能を目指した材料研究。 特に、屈折率制御による光の閉じ込め・光路操作活用光導波路、波長および位相制御可能な非線形光学材料の開発を中心に、有機光機能材料の応用展開。

東北大学 多元物質科学研究所 戒能研究室

電子線描画システム CPG-1100

微細加工技術を軸に素子レベルから考慮して新しいメカトロニクス用光デバイスを開発 メカトロニクスには高度なセンシングシステムが必要。また、光ネットワークにも高機能な光部品やシステムの構築が必要。微細加工技術との融合で、新しい視点で光計測法、素子開発、集積化に取り組む。デバイス製作は勿論、装置開発まで手がける。

東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 羽根・佐々木研究室

電子線描画用パターン発生装置 SPG-724　マニピュレータ

メゾスコピック系 原子（数Å）よりは大きいが、極めて小さな（数十Å〜数μｍ）系−いわゆるメゾスコピック系は、巨視的な系とは違った物性を示す。研究のため、電子線リソグラフィーで、微小トンネル接合を作成し、極低温に冷却して、素子動作、干渉効果、超伝導−絶縁体転移などを 調べている。

東京大学 物性研究所 ナノスケール物性研究部門 勝本研究室

電子線描画システム CPG-1100

機能デバイス・電子ビームリソグラフィー 電界引出走査電子顕微鏡 + 電子線描画装置で細線、ドットアレイ、ドット、サークル、フォトニッククリスタル等の微小図形（数十nm）を描画

九州大学 工学部 材料科学工学コース 向田研究室

電子線描画システム SPG-7A

半導体ナノ構造の電気伝導 量子伝導（小さな所に閉じこめられた電子が運ぶ電流のおもしろい性質）の実験的な研究。試料は、精度数十ナノメートル（髪の毛の太さの１万分の１）で微細加工を行う。これを活用した、千葉大学内外の研究グループとも協力。木工、金工（旋盤・フライス加工他）、銀ロウ付け、ＴＩＧ溶接、電弧溶接、電気回路工作、簡単なガラス工作、など何でもこなす。

千葉大学 理学部物理学科 光物性・量子伝導研究室

電子線描画システム CPG-1100、SPG-724

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