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成膜・電子線描画・電子ビーム計測の研究を行っている研究室のリンク集

ヘリコン波プラズマ発生装置多層膜コーティング/大型基板対応高周波/DCスパッタ装置
電子線描画装置		 　

■　研究室リンク
　　(成膜・EB描画・試験計測/画像取込)

スパッタや蒸着装置を使った成膜、電子線描画、電子ビーム計測や電子顕微鏡の高精細画像で研究を行っている研究室のリンクです。

  • 成膜(スパッタ、EB蒸着など) 高周波スパッタ、電子ビーム蒸着、ヘリコン波スパッタ装置などの研究

    高周波スパッタ、電子ビーム蒸着、ヘリコン波スパッタ装置などで研究を行っている研究室

  • EB描画 電子線描画による微細構造、微細素子などの研究

    EB描画によって、微細構造、微細素子などの研究を行っている研究室

  • 試験計測/画像取込 電子顕微鏡の３次元表面計測、高精細画像取込装置による研究

    電子顕微鏡の3次元表面計測や高精細画像取込装置で研究を行っている研究室

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