原理
1：　膜を付ける試料と膜の原料を容器内におく。（スパッタと違い距離を離す）
2：　全体を真空状態にして、原料を熱で溶かす。（蒸発させる。）
3：　原料が気体分子となり、試料に衝突、付着し、膜が形成される。

加熱溶解の方法によって、抵抗加熱式、電子ビーム式、高周波誘導式、レーザー式などがある。
原料分子が試料に達する前に残存気体分子に衝突しない為、また、気体分子自体が試料に衝突しない様、スパッタ（数 Pa ）より高い真空度（10^-3〜10^-4 Pa ）が必要。