原理
1：　膜を付ける試料と膜の原料（ターゲット）を近くにおく。
2：　全体を真空状態にして、試料とターゲットの間に電圧をかける。
3：　電子やイオンが高速移動し、イオンがターゲットに衝突する。高速移動した電子やイオンは、気体分子に
　　 衝突し、分子の電子をはじき飛ばし、さらにイオンとなる。
4：　ターゲットに衝突したイオンは、ターゲットの粒子をはじき飛ばす。（スパッタリング現象）
5：　はじき飛ばされた原料の粒子が試料に衝突、付着し、膜が形成される。