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原理と仕組み  電子線描画システムとは


電子線描画のはじまり

電子線描画とは文字通り電子ビームで絵を描く事です。 電子線は電子顕微鏡で使われている事でわかる通り、非常に細い線です。 この細い線を使って、半導体(コンピュータやあらゆる電化製品を制御している素子)が作られています。

エレクトロニクス産業の発展に伴い、半導体は目覚ましい進歩を遂げました。半導体の性能向上には高速、大容量が不可欠で、IC(集積回路)はどんどん小さくなってきました。
現在のメモリーは約数億個の素子がシリコン(硝子のようなもの)でできた一辺数ミリのの小片(ICチップ)上に描かれています。 20年前は、同じ大きさに今の1万分の1、1万個の素子を載せるのがやっとでした。 それでも、1素子の大きさは数ミクロン(1ミクロンは1mmの1/1000、髪の毛の1/100)でした。
今のところこの様な細い線でもほとんどのの場合、光を用いて作成されています。

では電子ビームはどこに使われているのでしょう。



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