構造：
モーターによって高速回転する動翼、本体に取り付けられた固定翼。

動作原理：
数万回転／分で回転するファン（動翼）で、気体分子を弾き、固定翼にあて、次の動翼へ順に送る。最終的に排気側へと気体を押しやる。動翼と固定翼の向きは逆で、分子は逆戻りしにくい。大気中で動作する換気扇や掃除機とは少し異なる。この動作原理のため、気体の種類によらない排気速度がある。

特徴：
油を使用せず、清浄で、高い真空度が得られる。10^-10 Pa程度
気体の種類によらない排気速度。
構造が複雑で、高額。
高速回転するので、取り付けに注意が必要。振動もある。
一段目排気装置が必要。バルブ操作が必要

用途：
真空蒸着装置、スパッタ装置など、真空応用機器