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真空ポンプの種類と原理 |
真空ポンプの種類真空ポンプもポンプはポンプで、機能は空気を容器からくみ出す事です。この点では、水をくみ出すポンプと同様ですが、一般のポンプはくみ出した液体などの移動が目的であるのに、真空ポンプは、密閉容器から、いかに早く、効率よく、残り少ない空気をくみ出すかが問題になります。その為、色々な原理が使われ、機械式ポンプとは、違った発展をしてきています。
代表的な真空ポンプ
1： ロータリーポンプ（油回転ポンプ） 2： 油拡散ポンプ 3： ターボ分子ポンプ（TMP） 4： イオンポンプ  |
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