■　真空、電子顕微鏡機器の原理と仕組み

サンユー電子で開発製造している装置の原理や仕組みを解説します。

• スパッタの原理

  クイックコーターＳＣシリーズでも使用されているコーティング（成膜技術）、スパッタ法の原理を解説します。

• 真空蒸着の原理

  ＳＶＣシリーズなどで行われる真空蒸着について解説します。

• 真空ポンプの種類と原理

  電子顕微鏡、スパッタ装置、電子ビーム応用機器には必ず必要な真空ポンプについて解説します。

• 反射電子による3次元表面計測の原理

  電子顕微鏡による反射電子解析で、試料表面の微少な凹凸を計測する装置を解説します。

• 電子線描画システムの原理

  電子ビームを使い試料表面に微細な絵を描く装置を解説します。
  半導体やナノマシン開発に使用されています。

• 立体画像観察装置・3D-SEMの原理

  電子顕微鏡で3次元、立体視がその場で（実時間で）行える装置を解説します。マイクロマシンの組立や、金属破断面の観察に実績のある装置です。